11月7日下午，東華大學(xué)博士、上海工程技術(shù)大學(xué)教師湯信在產(chǎn)教融合大樓211會議室開展“納米精度干涉計量關(guān)鍵技術(shù)及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)應(yīng)用”專題講座。本次講座由機(jī)械學(xué)院主辦，吸引了來自多個學(xué)院的師生代表參與。
首先，湯信博士從儀器儀表在科技自主與產(chǎn)業(yè)升級中的戰(zhàn)略地位切入。他指出，作為現(xiàn)代工業(yè)的“眼睛”與“標(biāo)尺”，高精度計量裝備的發(fā)展水平直接決定了一個國家在高技術(shù)制造業(yè)中的核心競爭力。特別是在當(dāng)前國際技術(shù)競爭日趨激烈的背景下，我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在干涉計量等關(guān)鍵環(huán)節(jié)仍高度依賴進(jìn)口設(shè)備，面臨著嚴(yán)峻的技術(shù)封鎖與供應(yīng)鏈不確定性。在這一背景下，實(shí)現(xiàn)納米精度面型檢測技術(shù)的自主研發(fā)，不僅是技術(shù)攻關(guān)的課題，更是關(guān)乎國家產(chǎn)業(yè)安全與創(chuàng)新自主的戰(zhàn)略任務(wù)。
其次，在技術(shù)解析環(huán)節(jié)，湯信博士系統(tǒng)闡述了納米精度材料加工面型干涉計量的核心機(jī)制與實(shí)現(xiàn)路徑。他以邁克爾遜干涉儀為例，深入淺出地講解了其光學(xué)構(gòu)造與測量原理，并進(jìn)一步拓展至剪切干涉中的距離標(biāo)定方法與系統(tǒng)信噪比優(yōu)化策略。圍繞半導(dǎo)體制造中常見的檢測難點(diǎn)，他詳細(xì)介紹了多表面分離算法、抗振動干擾設(shè)計以及跨區(qū)域相位解包裹技術(shù)等前沿方法，強(qiáng)調(diào)這些方案在晶圓制造、封裝測試等環(huán)節(jié)已展現(xiàn)出良好的工程適用性與穩(wěn)定性。
再次，圍繞“技術(shù)如何走向產(chǎn)業(yè)”這一關(guān)鍵議題，湯信博士指出，高精度計量不能僅停留在實(shí)驗室階段，必須與生產(chǎn)線工藝深度融合。他結(jié)合國家在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的政策布局與產(chǎn)業(yè)導(dǎo)向，提出“需求牽引、技術(shù)驅(qū)動、標(biāo)準(zhǔn)支撐”三位一體的發(fā)展思路，強(qiáng)調(diào)未來應(yīng)進(jìn)一步加強(qiáng)“產(chǎn)學(xué)研用”深度融合，構(gòu)建以企業(yè)為主體、高校為支撐、市場為導(dǎo)向的協(xié)同創(chuàng)新體系，推動國產(chǎn)計量裝備實(shí)現(xiàn)從“可用”到“好用”的跨越。
最后，在互動環(huán)節(jié)中，在場師生圍繞半導(dǎo)體計量領(lǐng)域的職業(yè)發(fā)展路徑、技術(shù)轉(zhuǎn)化中的共性問題、跨學(xué)科團(tuán)隊建設(shè)等話題踴躍提問。湯信博士結(jié)合自身科研與教學(xué)經(jīng)歷，對每個問題都作出細(xì)致回應(yīng)，并鼓勵研究生積極投身硬科技領(lǐng)域，在解決國家戰(zhàn)略需求中實(shí)現(xiàn)個人價值。
本場講座作為機(jī)械學(xué)院推動學(xué)科交叉與產(chǎn)教融合的系列學(xué)術(shù)活動之一，不僅為廣大師生搭建了了解國際前沿、拓展科研視野的高水平平臺，也為促進(jìn)校企合作、構(gòu)建協(xié)同創(chuàng)新生態(tài)提供了有益探索。學(xué)院未來將持續(xù)舉辦此類高質(zhì)量學(xué)術(shù)交流活動，助力研究生教育高質(zhì)量發(fā)展與高水平學(xué)科建設(shè)。