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一、個人簡介
張友寶，男，1980年9月出生，漢族，籍貫：山東省臨邑縣，博士，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高級工程師。
二、主要學(xué)習(xí)與工作經(jīng)歷
主要學(xué)習(xí)經(jīng)歷：
2003年于哈爾濱理工大學(xué)獲應(yīng)用物理學(xué)士學(xué)位；
2006年于哈爾濱理工大學(xué)獲光學(xué)工程碩士學(xué)位；
2020年于中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所獲光學(xué)工程博士學(xué)位；
2006年-至今于中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所工作。
三、代表性科研成果
在02專項中負(fù)責(zé)高端光刻機(jī)照明控制系統(tǒng)研發(fā)；獲由02專項光刻機(jī)工程指揮部頒發(fā)的“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”科技重大專項（02專項）“28nm浸沒光刻機(jī)照明分系統(tǒng)電控總設(shè)計師”聘書；近5年在國外重要期刊發(fā)表論文2篇，均被SCI收錄；作為第一發(fā)明人授權(quán)發(fā)明專利1項；作為第一作者登記軟件著作權(quán)1項。
四、主要社會學(xué)術(shù)團(tuán)體兼職
無。
五、主要研究方向
高端光刻機(jī)控制系統(tǒng)，精密運動控制，精密光電檢測，機(jī)器視覺及圖像處理和分析，人工智能和CAD技術(shù)。
六、在研項目
1、中國科學(xué)院先導(dǎo)A類激光等離子體專項“能量穩(wěn)定控制系統(tǒng)”課題，2023-2027，課題負(fù)責(zé)人。
2、中國科學(xué)院先導(dǎo)A類激光等離子體專項“激光追蹤液滴”課題，2023-2027，課題骨干。
七、聯(lián)系方式
郵件地址：zhangyoubao@siom.ac.cn，18017122766