在產(chǎn)教融合的大背景下，我校精密光學(xué)測量研究團(tuán)隊，結(jié)合國內(nèi)產(chǎn)業(yè)需求和科技前沿，致力于利用先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)、傳感技術(shù)、數(shù)字技術(shù)和電子技術(shù)，重點(diǎn)開展半導(dǎo)體晶圓平坦度、缺陷、顆粒度等量測設(shè)備的研發(fā)與設(shè)計工作，推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新與發(fā)展。該團(tuán)隊的研究方向包括散斑干涉計量、機(jī)器視覺、光電圖像處理、光電檢測和抗震隔振技術(shù)等，涵蓋了半導(dǎo)體晶圓檢測的關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域。在近期的研究中，該團(tuán)隊取得了一系列特色成果，包括研發(fā)出動態(tài)環(huán)境三維形變檢測數(shù)字散斑干涉系統(tǒng)及檢測方法、透鏡中心厚度的自動測量裝置、適用于微米級半導(dǎo)體薄膜厚度測量的儀器以及可以檢測半導(dǎo)體晶圓的三位輪廓、表面瑕疵以及平整度等參數(shù)的儀器等，并且獲得中國發(fā)明協(xié)會創(chuàng)新獎二等獎，在SCI、EI等重要學(xué)術(shù)期刊上發(fā)表了10余篇相關(guān)學(xué)術(shù)論文，申請專利12項，這些成果將為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供重要支持。
團(tuán)隊鼓勵學(xué)生積極參與產(chǎn)學(xué)研融合項目，提供實踐機(jī)會。學(xué)生們在實驗室中與教師、研究員合作，參與實際工程項目的設(shè)計、實驗和數(shù)據(jù)分析等工作。碩士生孫佳興同學(xué)在老師的指導(dǎo)下與企業(yè)合作，研發(fā)了FTIR技術(shù)與全光譜擬合技術(shù)，實現(xiàn)了半導(dǎo)體襯底、晶圓厚度測量系統(tǒng)的核心算法研發(fā)；碩士生邵倚濛同學(xué)目前在和某知名企業(yè)合作研究基于干涉圖質(zhì)量分析的激光干涉儀抗振技術(shù)，實現(xiàn)了干涉圖抗振的算法，該技術(shù)在很大程度上保證了高質(zhì)量圖像的獲取，通過這種實踐性的學(xué)習(xí)方式，他們有大量機(jī)會接觸到前沿的光學(xué)技術(shù)和工程實踐，為未來的學(xué)術(shù)和職業(yè)發(fā)展奠定堅實基礎(chǔ)。
